Логотип
Юнионпедия
Связь
Доступно в Google Play
Новый! Скачать Юнионпедия на вашем Android™ устройстве!
Установить
Более быстрый доступ, чем браузер!
 

Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы

Индекс Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы

Осаждение металлорганических соединений из газовой фазы (Metalorganic chemical vapour deposition) — метод химического осаждения из газовой фазы путём термического разложения (пиролиза) металлоорганических соединений для получения материалов (металлов и полупроводников), в том числе путём эпитаксиального выращивания.

42 отношения: Applied Physics Letters, GAN, КРТ, Кадмий, Паскаль (единица измерения), Пиролиз, Полупроводники, Арсин, Арсенид алюминия-галлия, Арсенид галлия, Арсенид галлия-индия, Азот, Алюминий, Аммиак, Антимонид индия, Нитрид галлия, Сурьма, Стибин, Селенид цинка, Триэтилсурьма, Триэтилалюминий, Триэтилгаллий, Триэтилиндий, Триметилсурьма, Триметилалюминий, Триметилгаллий, Триметилиндий, Теллур, Фосфид индия, Фосфин, Фосфор, Фенилгидразин, Химическое осаждение из газовой фазы, Эпитаксия, Мышьяк, Молекулярно-пучковая эпитаксия, Металлы, Металлоорганические соединения, Индий, Газофазная эпитаксия, Галлий, 1,1-Диметилгидразин.

Applied Physics Letters

Applied Physics Letters — еженедельный рецензируемый научный журнал, посвящённый новым экспериментальным и теоретическим результатам в прикладной физике.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Applied Physics Letters · Узнать больше »

GAN

* GaN - нитрид галлия.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и GAN · Узнать больше »

КРТ

Сокращение КРТ может означать.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и КРТ · Узнать больше »

Кадмий

Ка́дмий — элемент двенадцатой группы (в устаревшей классификации — побочной подгруппы второй группы), пятого периода периодической системы химических элементов Д. И. Менделеева, с атомным номером 48.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Кадмий · Узнать больше »

Паскаль (единица измерения)

Паска́ль (русское обозначение: Па, международное: Pa) — единица измерения давления (механического напряжения) в Международной системе единиц (СИ).

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Паскаль (единица измерения) · Узнать больше »

Пиролиз

Пиро́лиз (от πῦρ «огонь, жар» + λύσις «разложение, распад») — термическое разложение органических и многих неорганических соединений.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Пиролиз · Узнать больше »

Полупроводники

Монокристаллический кремний — полупроводниковый материал, наиболее широко используемый в промышленности сегодня. Полупроводники́ — материалы, по своей удельной проводимости занимающие промежуточное место между проводниками и диэлектриками, и отличающиеся от проводников сильной зависимостью удельной проводимости от концентрации примесей, температуры и воздействия различных видов излучения.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Полупроводники · Узнать больше »

Арсин

Арси́н (мышьяковистый водород, арсенид водорода) — вещество с формулой AsH3 (правильнее H3As), химическое соединение мышьяка и водорода.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Арсин · Узнать больше »

Арсенид алюминия-галлия

Арсенид алюминия-галлия (иные названия: алюминия галлия арсенид, алюминия-галлия арсенид) — тройное соединение мышьяка с трехвалентными алюминием и галлием, переменного состава, состав выражается химической формулой AlxGa1-xAs). Здесь параметр x принимает значения от 0 до 1 и показывает относительное количество атомов алюминия и галлия в соединении. При x.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Арсенид алюминия-галлия · Узнать больше »

Арсенид галлия

Арсени́д га́ллия (GaAs) — химическое соединение галлия и мышьяка.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Арсенид галлия · Узнать больше »

Арсенид галлия-индия

Арсени́д га́ллия-и́ндия (иные названия: индия галлия арсенид, индия-галлия арсенид, арсенид индия-галлия, галлия индия арсенид и др.) — тройное соединение мышьяка с трехвалентными индием и галлием, соединение переменного состава, состав выражается химической формулой GaxIn1-xAs.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Арсенид галлия-индия · Узнать больше »

Азот

Азо́т — элемент 15-й группы (по устаревшей классификации — главной подгруппы пятой группы) второго периода периодической системы химических элементов Д. И. Менделеева, с атомным номером 7.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Азот · Узнать больше »

Алюминий

Кодовый символ, указывающий, что алюминий может быть вторично переработан Алюми́ний (Al, aluminium) — элемент 13-й группы периодической таблицы химических элементов (по устаревшей классификации — элемент главной подгруппы III группы), третьего периода, с атомным номером 13.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Алюминий · Узнать больше »

Аммиак

Аммиа́к (нитрид водорода) — химическое cоединение с формулой NH3, при нормальных условиях — бесцветный газ с резким характерным запахом.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Аммиак · Узнать больше »

Антимонид индия

Антимони́д и́ндия — кристаллическое бинарное неорганическое химическое соединение, соединение индия и сурьмы.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Антимонид индия · Узнать больше »

Нитрид галлия

Нитри́д га́ллия — бинарное неорганическое химическое соединение галлия и азота.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Нитрид галлия · Узнать больше »

Сурьма

Сурьма́ (химический символ — Sb; Stibium) — химический элемент 15-й группы (по устаревшей классификации — главной подгруппы пятой группы) пятого периода периодической системы химических элементов Д. И. Менделеева; имеет атомный номер 51.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Сурьма · Узнать больше »

Стибин

Стибин (сурьмянистый водород) — неорганическое бинарное химическое соединение сурьмы с водородом, очень ядовитый легковоспламеняющийся газ, имеющий чесночный запах.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Стибин · Узнать больше »

Селенид цинка

Селенид цинка (ZnSe) — бинарное соединение цинка и селена, прямозонный полупроводник с шириной запрещённой зоны 2.82 эВ при абсолютном нуле и 2.68 эВ — при комнатной температуре.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Селенид цинка · Узнать больше »

Триэтилсурьма

Триэтилсурьма — элементоорганическое соединение, алкилпроизводное сурьмы с формулой Sb(CH), бесцветная жидкость, плохо растворяется в воде, окисляется на воздухе с самовоспламенением.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Триэтилсурьма · Узнать больше »

Триэтилалюминий

Триэтилалюминий — элементоорганическое вещество, алкилпроизводное алюминия с формулой Al(CH), бесцветная жидкость, самовоспламеняется на воздухе.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Триэтилалюминий · Узнать больше »

Триэтилгаллий

Триэтилгаллий — элементоорганическое вещество, алкилпроизводное галлия с формулой Ga(CH), бесцветная жидкость, самовоспламеняется на воздухе.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Триэтилгаллий · Узнать больше »

Триэтилиндий

Триэтилиндий — элементоорганическое вещество, алкилпроизводное индия с формулой In(CH), бесцветная жидкость.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Триэтилиндий · Узнать больше »

Триметилсурьма

Триметилсурьма — элементоорганическое вещество, простейшее алкилпроизводное сурьмы с формулой Sb(CH), бесцветная жидкость, плохо растворяется в воде, окисляется на воздухе с самовоспламенением.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Триметилсурьма · Узнать больше »

Триметилалюминий

Триметилалюминий — элементоорганическое вещество, простейшее алкилпроизводное алюминия с формулой Al(CH), бесцветная жидкость, самовоспламеняется на воздухе.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Триметилалюминий · Узнать больше »

Триметилгаллий

Триметилгаллий — элементоорганическое вещество, простейшее алкилпроизводное галлия с формулой Ga(CH), бесцветная жидкость, самовоспламеняется на воздухе.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Триметилгаллий · Узнать больше »

Триметилиндий

Триметилиндий — элементоорганическое вещество, простейшее алкилпроизводное индия с формулой In(CH), бесцветные кристаллы, быстро окисляется на воздухе.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Триметилиндий · Узнать больше »

Теллур

Теллу́р — химический элемент 16-й группы (по устаревшей классификации — главной подгруппы VI группы, халькогены), 5-го периода в периодической системе, имеет атомный номер 52; обозначается символом Te (Tellurium), относится к семейству металлоидов.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Теллур · Узнать больше »

Фосфид индия

Фосфид индия (InP) — химическое соединение индия и фосфора.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Фосфид индия · Узнать больше »

Фосфин

Фосфи́н (фосфористый водород, фосфид водорода, гидрид фосфора, по номенклатуре IUPAC — фосфан) РН3 — бесцветный ядовитый газ (при нормальных условиях).

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Фосфин · Узнать больше »

Фосфор

Фо́сфор (от φῶς — свет и φέρω — несу; φωσφόρος — светоносный; Phosphorus) — химический элемент 15-й группы (по устаревшей классификации — главной подгруппы пятой группы) третьего периода периодической системы Д. И. Менделеева; имеет атомный номер 15.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Фосфор · Узнать больше »

Фенилгидразин

Фенилгидразин — производное гидразина, в котором один атом водорода замещён на фенильную группу.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Фенилгидразин · Узнать больше »

Химическое осаждение из газовой фазы

углеродных нанотрубок в лабораторной установке PECVD (Plasma Enhanced CVD). Химическое осаждение из газовой фазы (ХОГФ) (химическое парофазное осаждение, Chemical vapor deposition, CVD) — процесс, используемый для получения высокочистых твёрдых материалов.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Химическое осаждение из газовой фазы · Узнать больше »

Эпитаксия

Эпитаксия — это закономерное нарастание одного кристаллического материала на другом при более низких температурах (от επι — на и ταξισ — упорядоченность), то есть ориентированный рост одного кристалла на поверхности другого (подложки).

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Эпитаксия · Узнать больше »

Мышьяк

Мышья́к (Arsenicum, химический символ — As) — химический элемент 15-й группы (по устаревшей классификации — главной подгруппы пятой группы) четвёртого периода периодической системы; имеет атомный номер 33.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Мышьяк · Узнать больше »

Молекулярно-пучковая эпитаксия

Система молекулярно-пучковой эпитаксии. Видна ростовая камера (слева) и камера загрузки образцов (справа), разделенные заслонкой-шибером. Молекулярно-пучковая эпитаксия (МПЭ) или молекулярно-лучевая эпитаксия (МЛЭ) — эпитаксиальный рост в условиях сверхвысокого вакуума.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Молекулярно-пучковая эпитаксия · Узнать больше »

Металлы

всей её истории. Мета́ллы (от metallum — шахта, рудник) — группа элементов, в виде простых веществ, обладающих характерными металлическими свойствами, такими, как высокие тепло- и электропроводность, положительный температурный коэффициент сопротивления, высокая пластичность, ковкость и металлический блеск.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Металлы · Узнать больше »

Металлоорганические соединения

Металлоорганические соединения (МОС) — органические соединения, в молекулах которых существует связь атома металла с атомом/атомами углерода.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Металлоорганические соединения · Узнать больше »

Индий

И́ндий — элемент 13-й группы периодической таблицы химических элементов (по устаревшей классификации — элемент главной подгруппы III группы), атомный номер 49.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Индий · Узнать больше »

Газофазная эпитаксия

Газофа́зная эпитаксия — получение эпитаксиальных слоев полупроводников путём осаждения из паро-газовой фазы.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Газофазная эпитаксия · Узнать больше »

Галлий

Га́ллий — элемент 13-й группы (по устаревшей классификации — главной подгруппы третьей группы) четвёртого периода периодической системы химических элементов Д. И. Менделеева, с атомным номером 31.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и Галлий · Узнать больше »

1,1-Диметилгидразин

Несимметри́чный диметилгидрази́н (НДМГ, «гепти́л»В действительности, гептил — это алкильный радикал C7H15−. Название «гептил», как кодовое, исторически употребляется у военных ракетчиков., 1,1-диметилгидрази́н) (Unsymmetrical dimethylhydrazine, UDMH) — компонент высококипящего (имеющего температуру кипения выше 0 °C) ракетного топлива.

Новый!!: Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и 1,1-Диметилгидразин · Узнать больше »

Перенаправления здесь:

MOCVD, Химическое осаждение из паров металлорганических соединений, Металлорганический CVD.

ИсходящиеВходящий
Привет! Мы на Facebook сейчас! »