1 отношение: Микроэлектромеханические системы.
Микроэлектромеханические системы
МЭМС сканер. На кристалле реализован привод зеркала и само зеркало.Вариант схемы инерциального датчика Микроэлектромеханические системы (МЭМС) — устройства, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты.
Новый!!: Датчики на поверхностных акустических волнах и Микроэлектромеханические системы · Узнать больше »